一個好的反沖洗過濾器沖洗系統必須滿足兩個要求：最小的反沖洗水用量和經過沖洗后的濾料絕對干凈。對于多層濾料池還有第三個要求：當反沖洗完成后，原本不同濾料的濾層必須恢復原狀。
當水通過反沖洗過濾器過濾時阻力逐漸增大，當濾池達到最大壓頭損失或者當濾池的出水閥完全打開時，濾池開始空氣和水的反沖洗。氣沖過程見圖1。
圖1 氣沖過程
濾池開始用空氣和水反沖洗過程如下(見圖 2、3)：
圖2 氣水反沖洗過程
圖3 反沖洗示意
準備段：停止進水，待池水面降至沙面以上，開始反沖洗。
空氣段：空氣從下至上通過濾床，松動污物。
空氣/水段：空氣結合水以小的速度從下至上通過濾床，沖刷介質中的污物。
水段：水以高速通過濾床沖刷和帶走過濾時凝結的污物和附著在濾料上的小氣泡。
反沖洗過濾器反沖洗污水通過排泥閥排到反沖洗污水回收槽。
高速沖洗段和污水排放反復進行，直到濾料完全沖洗干凈，一般反復兩次。
濾料重新排布，完成濾料的再分布，恢復水位到工作水位。
濾池恢復到控制的工作狀態使濾料恢復原狀，以開始工作負荷。
反沖洗水由反沖洗泵提供，或者由反沖洗過濾器提供。
